D=0.61λ/N*sin（ /2）
D: ความละเอียด
λ: ความยาวคลื่นของแหล่งกำเนิดแสง
: มุมจมูก (มุมที่ชิ้นงานเปิดออกไปยังปากเลนส์ใกล้วัตถุที่จุดบนแกนลำแสง)
หากคุณต้องการปรับปรุงความละเอียด คุณสามารถทำได้โดย: 1. ลด λ เช่น ใช้แสงอัลตราไวโอเลตเป็นแหล่งกำเนิดแสง 2. เพิ่ม N เช่นในน้ำมันซีดาร์ 3. เพิ่ม นั่นคือ ลดระยะห่างระหว่างเลนส์ใกล้วัตถุกับชิ้นงานให้มากที่สุด